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科研学术

自动化学院11月20日报告会--硅单晶提拉生长中拉速稳定性研究,张凯博士

2009-12-13  
2009年11月20日,在新主楼E706,我们又迎来了一场精彩的报告会,本次报告会的题目是硅单晶提拉生长中拉速稳定性研究,主讲人是自动化学院303教研室博士张凯,他的指导老师是付永领教授。

本次报告会的主要介绍了为解决硅单晶提拉生长过程中拉速不稳定、波动较大的问题,在分析晶体生长界面热量及质量传输的基础上,通过控制温度补偿速率来抑制拉速大幅波动。采取基于遗传算法优化隶属度函数的模糊控制策略,对温度补偿速率进行控制,调节加热功率,使炉内热环境处于适宜晶体生长的范围。经过实验结果表明,在提高系统控径精度的同时,拉速稳定性也有显著提高,大幅波动明显减少。

在随后的提问环节中,在场的同学们踊跃提问,张凯博士细心地解答,也共同探讨了一些更深入的问题,会场气氛活跃,效果卓然。








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